^ 準クリーンルーム
- マイクロPL
- X線回折装置
- クリーンルーム
- プラズマCVD装置
- スパッタリング装置
- アニール炉
- イオン注入装置
- 300mm Siウェハを持って
- 総合研究所正面にて
- MBE装置前にて
- MBEのメンテナンス作業
- サンプルの作製と測定
- MBE内の基板搬送
- ドラフトにて基板洗浄